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    超纯气体

有机类高纯气体


分子式
名称
规格
杂质含量(PPM)
CH4
甲烷
Methane
99.9~99.995%
4N级THC≤5,N2≤50,H2O≤15,O2≤30
C2H6
乙烷
Ethane
99.9~99.99%
3N级N2+O2≤500,THC≤450,H2O≤15
4N级N2+O2≤70,THC≤20,H2O≤5
CH3CL
氯甲烷
Methyl Chloride
99.5%
 
C2H5CL
氯乙烷
Ethyl Chloride
99.7%
 
C2H4O
环氧乙烷
Ethylene Oxide
99.9%
 
C3H8
丙烷
Propane
99~99.99%
4N级C3H6≤1,i-C4H10≤75,C2H8≤1,CH4≤1,O2+N2≤20
n-C4H10
正丁烷
N-Butane
99.5~99.99%
4N级THC≤100
C2H2
乙炔
Acetylene
99.8~99.99%
 
i-C4H10
异丁烷
Isobutane
99.5~99.99%
4N级
C2H4≤2,C3H8≤2,n-C4H10≤6,C4H8-1≤2,i-C4H8≤30,CH4≤50
C4H8
丁烯-1
I-Butene
99.95%
(C1~C4,C2~C3)≤500
C4H8
顺-2-丁烯
Cis-2-Butene
95%
 
C4H8
反-2-丁烯
Trans.-2.-Butene
95%
 
i-C4H8
异丁烯
I-Sobutylene
99.5%~99.9%
(C1~C4,C2~C3)≤5000 2.5N级
(CH2)3
环丙烷
Cyclopropane
99%
 
AsH3
砷烷
Arsine
99.999%
THC≤1,N2≤3,CO2≤1,PH3≤2,H2O≤0.5,O2≤1,CO≤0.5
B2H6
硼烷
Diborane
99.99%
N2≤10,THC≤80
C2H4
乙烯
Ethylene
99.95~99.99%
4N级H2V5,C2H6≤50,CO2≤5,C2H2≤5,H2O≤5,O2≤5,CO≤5,CH4≤20
C3H6
丙烯
Propylene
99.9~99.99%
4N级H2≤1,THC≤100,CO2+CO≤5
C3H4
丙二烯
Allene
93%
 
n-C5H12
正戊烷
N-Pentane
99.5%
I-C5H12≤3000,H2O≤1000,n-C5H10≤1000,i-C5H10≤1000
i-C5H12
反戊烷
I-Sopentane
99.5%
N-C5H12≤3000,C3-C4≤1000,H2O≤1000
PH3
磷烷
Phosphine
99.99%
H2≤20,N2≤10,CO2≤10,THC≤3,H2O≤2,O2≤3 

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